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            FT-CZ1400Se

            12英寸半導體級單晶爐

            拉晶過程全程自動化

            在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將硅材料熔化,

            用直拉法生長無位錯單晶的設備。

             

            性能優勢

            設備主體結構優化,提高了整機穩定性。

            具有拉制12英寸COP FREE半導體單晶硅棒的功能。

            采用新型隔離閥。

            液面高度監控系統。

            高精度傳動機構。

            雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。

            12英寸半導體級單晶爐
            型號 FT-CZ1400Se
            場所 周圍溫度 15~30℃
            周圍濕度 ≤65%(無結露,腐蝕氣體)
            潔凈度 10000級凈空房
            噪音 ≤75db
            地基 3000kg/㎡以上
            電源 額定電壓 3P 380VAC±10%  50/60Hz
            額定電容 420kVA(主副合算)
            額定流量 650A(主副合算)
            冷卻水 流量范圍 500L/min
            供給壓力 0.3~0.4MPa
            重量 設備高度                                                                       <8290mm                                                            △      
            設備重量 約26T

             

             

            △ 項數據視上爐筒高度而定,本設備數據不含磁場。

            全國熱線

            021-36162928

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